潔凈室的廢水處理

　　一、工業(yè)潔凈室特別是電子工業(yè)潔凈室排放的廢水主要成份有：含酸廢水、含堿廢水、含氟廢水、含磷廢水、有機(jī)廢水等不同行業(yè)、不同產(chǎn)品、不同工藝其廢水的成份不同，但都必須進(jìn)行處理，處理后的廢水達(dá)到國家排放標(biāo)準(zhǔn)方能排放。

　　半導(dǎo)體集成電路工廠的廢水處理大都采用化學(xué)中和沉淀法處理。其典型流程如下：

　　二、生物潔凈室特別是生物安全實(shí)驗(yàn)室排出的廢水中往往含有病毒、有害微生物和致敏性物質(zhì)，而且產(chǎn)品品種、生產(chǎn)工藝不同廢水的成份也不同。因此含有害微生物的廢水應(yīng)按成份分別收集，分別滅活、消毒滅菌后達(dá)標(biāo)才能排放。

　　潔凈室的廢氣處理

　　一、工業(yè)潔凈室，特別是電子工業(yè)潔凈室排放的廢主要成份有：一般廢氣、熱廢氣、有機(jī)廢氣、酸堿廢氣、含磷等特殊廢氣、含粉塵的廢氣等，不同行業(yè)、不同產(chǎn)品、不同工藝其排放的廢氣的成份不同，但都必須處理達(dá)到國家排放標(biāo)準(zhǔn)后方能排到室外。

　　1、一般由生活用房、值班室、衛(wèi)生間排出的一般廢氣可直接排到室外。

　　2、排放的有機(jī)廢氣超標(biāo)時(shí)必須經(jīng)過有機(jī)廢氣處理設(shè)備處理達(dá)標(biāo)后再排放有機(jī)廢氣，處理方法有活性炭吸附法、液體吸收法和催化燃燒法等。

　　3、含酸堿廢氣在生產(chǎn)工藝中排放的較多，一般都是經(jīng)過淋液濕式洗氣吸收塔進(jìn)行中和處理達(dá)標(biāo)排放。

　　4、排放的熱廢氣一般情況下可直接排放，如果溫度較高必須采取隔熱措施以免傷人。

　　5、含塵廢氣必須經(jīng)過適當(dāng)?shù)某龎m裝置除塵后再排至大氣。

　　6、含磷、含砷等特殊廢氣首先防止在排氣系統(tǒng)中產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)并通過專用的廢氣處理設(shè)備處理后達(dá)標(biāo)排放。通常處理方法有稀釋法、吸收法、吸附法、催化燃燒法等等。

　　二、生物潔凈室尤其是生物安全實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)一般含有活性的有毒有害的病菌等微生物。因此這類排風(fēng)須經(jīng)過過濾滅菌后再排放。如手術(shù)室的排風(fēng)須經(jīng)過中效過濾方能排到室外;P3實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)須經(jīng)過高效過濾器過濾后方能排到室外;P4實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)須經(jīng)過兩級(jí)高效過濾器過濾后才能排到室外。為了安全*好采用袋進(jìn)袋出的高效過濾器裝置。

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